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 Magazin 
Zur Behandlung in einer Plasma-Anlage können Kleinteile (z. B. ICs) in dafür konstruierte, meist mehrstöckige Halterungen, sogenannte Magazine, gesetzt werden. Dies erlaubt eine optimale Nutzung des Kammervolumens bei gleichzeitig definierter Positionierung jedes behandelten Teils. Wenn eine Berührung der Teile untereinander während des Prozesses unerwünscht ist oder wenn die Teile mechanisch sehr empfindlich sind, ist die Verwendung von Magazinen der Drehtrommel-Methode vorzuziehen. Zur Halterung von Lead Frames werden ebenfalls Magazine eingesetzt.

   
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