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 LIGA Verfahren 
Die wesentlichen Prozeßschritte sind die Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, die Galvanoformung von Metallen und die Abformung von Kunststoffen. Die Prozeßschritte haben dem Verfahren den Namen gegeben: LI für Röntgenlithographie, G für Galvanoformung, A für Abformung.

   
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