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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN

 

[ RF-GENERATOREN ]

   
  Anwendungsgebiete:
  • Niederdruckplasma
  • RF-Heizung
   
   
 

RF-Generator 13,56 MHz, 100 W

 
 
  • RF-Nennausgangsleistung: 100 Watt
  • Frequenz: 13.560 MHz ± 100ppm
  • Einstellbare RF-Ausgangsleistung:
       0 - 100 Watts, kontinuierlich
  • Generator kann gepulst werden:
       Min. on-time: 5µs
  • Impedanz: 50 Ohms
  • RF Stabilität: weniger als 5 %
       (abhängig vom verwendeten    Anpaßgerät)
  • Fehlanpassungsschutz von offenen    Ausgang bis Kurzschluß eingebaut
  • Maximale Fehlanpassung ohne    Leistungsreduzierung: VSWR = 1,2
  • RF mit Volllast einschaltbar
  • Netzanschluß: 88 - 264 V WS / 47 - 63    Hz (in Verbindung mit externer    Stromversorgung )
  • Leistungsaufnahme: max. 220 Watt
  • Fernsteueranschluß für:
        - RF Ein/Aus
        - RF Leistungseinstellung
         (0...10V = 0...100%)
  • RF-Ausgang : N-Buchse
  • Netzanschluß: externes    Stromversorgungsmodul
  • Masse: ca. 6,5 kg (Generator) plus    1,0 kg (Netzteil)
 
Plasmaanlage TETRA-30-LF mit vollautomatischer Steuerung. Konzipiert für die Produktion: Plasma Reinigung, Plasma Aktivierung, Plasma Ätzung - Plasma Cleaner
Plasmaanlage TETRA-30-LF mit vollautomatischer Steuerung. Konzipiert für die Produktion: Plasma Reinigung, Plasma Aktivierung, Plasma Ätzung - Plasma Cleaner

RF-Generator 100


 

   
   
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