Technische Daten: Femto PCCE
Schaltschrank:
B 562 mm, H 211 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 280 mm
Kammervolumen:
ca. 2,8 Liter
Gaszuführung:
2 St. Gaskanäle über MFC
Generator:
40kHz/100W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
PC-Steuerung
Optionen / Zubehör
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Kleinanlage FEMTO PCCE (Frontansicht) : Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung, Ätzung in Kleinserie
Kleinanlage FEMTO PCCE (Rückansicht)
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