diener electronic : Halbleiterblocktechnik : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	Halbleiterblocktechnik Die Halbleiterblocktechnik ist ein Verfahren der Mikroelektronik, bei denen die elektronischen Schaltungen in monolithischer Technik im Halbleitereinkristall selbst hergestellt werden. Das Halbleitersubstrat übernimmt nicht nur die mechanischen, sondern auch die elektronischen Funktionen.

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