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diener electronic : Planartechnik : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam
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 Planartechnik 
In der Mikroelektronik und Halbleitertechnologie angewandtes Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und Chips. Das Halbleitermaterial, meist ein Siliciumsubstrat, wird dabei mittels Diffusion an ausgewählten Bereichen der Oberfläche dotiert, sodass planare, d. h. flache, der Oberfläche parallele Strukturen entstehen.

   
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