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 Ionenstrahlätzen 
Das Ionenstrahlätzen (engl. Ion Beam Etching) zählt zu den Trockenätzverfahren. Im Unterschied zum Ionenätzen werden die reaktiven Teilchen in einer separaten Ionenquelle bereitgestellt und durch ein Beschleunigungsgitter in die Ätzkammer extrahiert.

   
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