| |
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 1.700 mm, T 800 mm
Kammer:
B 360 mm, H 150 mm, T 260 mm
Kammervolumen:
ca. 15 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows)
Automatisierung:
Die Anlage hat eine automatische Schubladentür
Optionen / Zubehör
|
|
TETRA-15-LF-PC mit PC-Steuerung und automatischer Schubladentür. Konzipiert für
die Produktion: Reinigung, Aktivierung, Ätzung |
