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SYSTEMES PLASMA STANDARDS

 

[ Microscopie électronique ]

 

FEMTO UHP


 
  1. Dimensions du système
B 345 mm x H 220 mm x T 420 mm

2. Dimensions de la chambre
Ø 80 mm
P: 270 mm
Matière de la chambre : quartz ou borosilicate,
arrière de la chambre aluminium
Volume de la chambre: 2 litres

3. Alimentation en gaz
1 canal de gaz réglable par vanne à aiguille

4. Générateur
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
ou
13,56 MHz / 100 W réglable

5. Électrode
À l'extérieur de la chambre
en verre liaison capacitive

6. Contrôle
Contrôle semi automatique du système,
la durée du traitement est
contrôlée par une horloge programmable.

7. Raccordements
Gaz: 6mm Swagelok
Alimentation en courant: 220-240V /
16 A 50-60 Hz

8. Pompe
Pompe de distributeur rotative
Volume aspiré 1,5 m3/h
La pompe est appropriée pour O2 entreprise
 
FEMTO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

FEMTO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

 

 

 

   
 

PICO UHP


 
  1. Dimensions du système
B 550 mm x H 330 mm x T 500 mm

2. Dimensions de la chambre
Ø 130 mm
P: 300 mm
Matière de la chambre : quartz ou borosilicate,
arrière de la chambre aluminium
Volume de la chambre: 4 litres

3. Alimentation en gaz
2 canal de gaz réglable par vanne à aiguille

4. Générateur
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
ou
13,56 MHz / 100 W réglable

5. Électrode
À l'extérieur de la chambre
en verre liaison capacitive

6. Contrôle
Contrôle semi automatique du système,
la durée du traitement est
contrôlée par une horloge programmable.

7. Raccordements
Gaz: 6mm Swagelok
Alimentation en courant: 220-240V /
16 A 50-60 Hz

8. Pompe
Pompe de distributeur rotative
Volume aspiré 1,5 m3/h
La pompe est appropriée pour O2 entreprise

 

 
PICO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

PICO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

PICO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

 

Microscopie électronique bref descriptif


Un microscope électronique est un système qui permet d’observer de très petits détails grâce a son très grand pouvoir de résolution. L’utilisation d’électrons en tant que source de lumière permet des grossissements pouvant atteindre 2.000.000 fois.

Microscope électronique par transmission (TEM)


C’est le premier type de microscope électronique. Le microscope électronique par transmission (TEM) utilise un faisceau d’électrons haute tension émis depuis une cathode composée de lentilles magnétiques. Ce faisceau d’électrons qui à été partiellement transmis au travers l’échantillon à analyser transmet les informations permettant de réaliser une image de la structure interne de l’objet analyser. Pour que cette analyse soit possible il est nécessaire de rendre l’échantillon de matière aussi fin que possible de façon à ce que le faisceau d’électron puisse le traverser partiellement. L’image est ensuite projetée sur différents capteurs qui vont de l’écran fluorescent, en passant par des plaques photographiques ou des capteur de type CCD. Il est possible de visionner ces images directement, en temps réel sur des écran d’ordinateur ou de monitoring.

Microscope électronique par réflexion


Il existent aussi des microscopes électronique par réflexion (REM). Comme pour les TEM cette technique utilise un faisceau d’électrons incident à la surface mais au lieu d’observer le faisceau transmis (TEM) ou les électrons secondaires (SEM) l’on détecte le faisceau réfléchi. Cette technique est généralement couplée à des système d’analyse par diffraction REELS ( Reflexion high energy electron diffraction) ou SPLEEM (spin polarized low energy electron microscopy) principalement utilisé pour analyser les micro-structures dans le domaine du magnétisme.


Préparation des échantillons par Plasma


Les échantillons pour le TEM ou le SEM, ainsi que leur support doivent être nettoyés par plasma avant analyse. Un Plasma d’oxygène de 15 minutes est généralement suffisant.

Durant le traitement Plasma tous les éléments organiques tels que l’huile, les résidus de carbone sont éliminés, cette opération est très simple et les sources d’erreur d’interprétation de l’image fortement réduites.

La plupart du temps un traitement à l’oxygène est suffisant, pour les pièces sensibles à l’oxydation on utilisera de l’hydrogène. Pour les pièces de nature diélectrique, particulièrement pour les REM, une fine couche conductrice doit être déposée afin d’éviter les problèmes de charges électriques. Cette couche est déposée grâce à un plasma contenant du carbone ou de l’or.

Pour le TEM les échantillons doivent être traités suivant différents procédés jusqu'à qu’ils aient une épaisseur inférieur à 1 micron. Le procédé les plus commun est la gravure ionique, procédé qui utilise un faisceau d’ions qui bombarde l’échantillon et vaporise la matière superflue. La technologie Plasma est apparue dans le domaine de la microscopie électronique dans les années 1980 principalement du fait de l’amiante pour en permettre la détection et l’analyse.

Grâce au plasma il est en effet possible d’isoler les fibres d’amiantes de toute autre contamination organique et ainsi rendre leur analyse possible à l’aide de REM ou de TEM.

La technologie Plasma est aussi utilisée pour l’analyse des polymères. Il est possible de décaper des fibres de verre et tous types de fibres inorganiques. Les polymères sont décomposés par le plasma et complètement enlevés dans le réacteur Plasma De même le Plasma peut être utiliser pour l’analyse de défaut des céramiques de type Si3N4 en en permettant la gravure.

Diener Electronic est en mesure pour vous proposer des systèmes adaptés à ses différents besoins : microscopie électronique, l’analyse de l’amiante ainsi que l’analyse de défaut des céramiques.

Equipement dédiés aux applications de microscopie électronique.


Diener Electronic propose deux systèmes de taille différente pour le traitement des portes échantillon. Ces deux systèmes comprennent un support pour le porte échantillon afin de traiter simultanément l’échantillon et son support.

Le chargement se faisant par l’extérieur il n’est pas nécessaire d’ouvrir le système plasma limitant ainsi les risques contaminations. Quelque soit le diamètre du porte échantillon Diener Electronic est en mesure de vous fournir l’interface adéquate.

Le système, très économique et très simple d’utilisation dispose d’une chambre en borosilicate afin de préserver l’échantillon de toute contamination.
   
   
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