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PLASMAANLAGEN

 

[ Elektronenmikroskopie]

 

FEMTO UHP


 
  1. Gehäuse
B 345 mm x H 220 mm x T 420 mm

2. Plasmakammer
Durchmesser: 80 mm
L: 270 mm
Material: Borosilikat- oder Quarzglas
Kammervolumen: ca. 2 l

3. Gaszuführung
1 St. Gaskanal über Nadelventile

4. Plasmagenerator
40 KHz / 100 W stufenlos regelbar
oder
13,56 MHz / 100 W stufenlos regelbar

5. Elektrode
Ausserhalb der Glaskammer
Kapazitive Einkopplung

6. Steuerung
Halbautomatisch,
Prozesszeit über Timer

7. Anschlüsse
Gas: 6mm Swagelok
Spannungsversorgung: 220-240V /
16 A 50-60 Hz

8. Vakuumpumpe
Drehschieberpumpe
Saugleistung 1,5 m3/h
Pumpe ist für O2 Betrieb geeignet
 
FEMTO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

FEMTO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

 

 

 

   
 

PICO UHP


 
  1. Gehäuse
B 550 mm x H 330 mm x T 500 mm
Gewicht: ca. 30 kg (ohne Pumpe)

2. Plasmakammer
Durchmesser: 130 mm
L: 300 mm
Material: Borosilikat- oder Quarzglas
Kammervolumen: ca. 4 l

3. Gaszuführung
2 St. Gaskanäle über Nadelventile

4. Plasmagenerator
40 kHz / 200 W stufenlos regelbar oder 13,56 MHz / 100 W stufenlos regelbar

5. Elektrode
Ausserhalb der Glaskammer
Kapazitive Einkopplung

6. Steuerung
Halbautomatisch,
Prozesszeit über Timer

7. Anschlüsse
Gas: 6mm Swagelok
Spannungsversorgung: 220-240V /
16 A 50-60 Hz

8. Vakuumpumpe
Drehschieberpumpe
Saugleistung 2,5 m3/h
Pumpe idt für O2 Betrieb geeignet

 

 
PICO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

PICO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

PICO - Plasmaanlage für Elektronenmikroskopie - C by Diener electronic GmbH + Co. KG

 

Elektronenmikroskopie kurzer Überblick


Ein Elektronenmikroskop ist ein Mikroskop, das das Innere oder die Oberfläche einer Probe mit Elektronen abbilden kann.

Beim Rasterelektronenmikroskop (REM) wird ein feiner Elektronenstrahl über die üblicherweise massive Probe gerastert. Dabei aus der Probe wieder austretende oder rückgestreute Elektronen, oder auch andere Signale, werden synchron detektiert, der registrierte Strom bestimmt den Intensitätswert des zugeordneten Bildpunktes. Meist werden die Daten sofort auf Monitoren dargetsellt, so dass man den Bildaufbau in Echtzeit verfolgen kann.

Beim Transmissionselektronenmikroskop (TEM) durchstrahlen die Elektronen die TEM Probe, das zu diesem Zweck entsprechend dünn sein muß. Eine sinnvolle TEM Probe kann eine Dicke von wenigen Nanometern bis zu einigen Mikrometern besitzen.


Probenaufbereitung mittels Plasmatechnologie

Die TEM und REM Proben und die TEM Probenhalter werden mittels Plasma gereinigt. Meißt reicht eine 15 minütige Sauerstoffplasmabehandlung.

Es werden dabei alle organischen Bestandteile wie Fette, Öle und Ruß sowie organische Verunreinigungen entfernt. Die Bedienung der Plasmaanlagen ist sehr einfach.

Die Fehlerquellen im REM und TEM werden deutlich reduziert. Die Verweilzeit während der Messung im REM und TEM wird entscheident verlängert.

Als Prozessgase werden bei oxydationsempfindlichen Teilen neben dem Sauerstoff auch noch Wasserstoff eingesetzt.

Nichtleitende Proben müssen besonders im Rasterelektronenmikroskop (REM) zur Verhinderung einer elektrostatischen Aufladung mit einer dünnen leitenden Schicht versehen werden. Diese wird normalerweise durch Plasmabesschichten in einem Sputtergerät mit Gold oder mittels Bedampfung mit Kohlenstoff erreicht.

Für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) müssen die Proben in unterschiedlichen Verfahren auf max. 1 mü Dicke gebracht werden. Sehr gebräuchlich ist das Ionenätzverfahren, bei dem die Probe durch einen Ionenstrahl erodiert wird.
Als in den 80er Jahren die Asbest Problematik erkannt wurde, fand die Plasmatechnik den Einzug in die TEM und REM Technologie. Die Asbest Analyse wurde entwickelt. Dabei werden die Kohlenstoffverbindungen in sogenannten Plasmaverascher verascht. Zurück bleiben die reinen Asbest - Fasern die mittels REM und TEM sichtbar und damit analysierbar gemacht werden können.

Die Plasmatechnologie kann auch sehr gut zur allgemeinen Polymeranalyse verwendet werden. Es können z.b. Glasfasern und andere nichtorganische Füllstoffe frei gelegt werden. Hierbei wird das Polymer verascht. Man spricht deshalb auch von einem Plasma Verascher.

Für die Schadensanalyse im Bereich der Keramik - Technologie werden Si3N4 Proben angeätzt.
D. e. bietet vom TEM Probenhalter reinigen, Asbest veraschen, Keramik Si3N4 ätzen bis hin zur Polymeranalyse immer das richtige Maschinekonzept an

Maschinenprogramm für die TEM Probenhalter Reinigung und der Proben.


D.e. bietet zwei Maschinengrößen für die TEM Probenhalter Reinigung und der Proben an. Mit diesen Anlagen können die TEM Probenhalter und die Proben komplett in der Kammer behandelt werden. Es besteht ebenfalls die Möglichkeit die TEM Probenhalter von außen in die Kammer einzuführen. Wird die Variante gewählt bei der der TEM Probenhalter von außen durch die Glastür geführt wird, ist es notwendig die Maße mit D.e. abzustimmen.

Es kann hier jeder Durchmesser realisiert werden.

Die Steuerung der Anlagen zur TEM Probenhalter Reinigung und der Proben wurde bewusst einfach gestaltet, da praktisch immer mit der gleichen Einstellung gefahren wird.

Um den hohen Ansprüchen an die Reinheit der TEM Probenhalter und der Proben gerecht zu werden sind die Rezipienten in Quarzglas ausgeführt.
   
   
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