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PLASMAANLAGEN - STEUERUNG

 

[ PROGRAMMERSTELLUNG ]

   
  Die Steuerung erfolgt durch PC mit Industrie-Feldbus und läuft unter MS-Windows.
Das Speichern der Prozessdaten als Excel-Datei ist möglich. Folgende Parameter können eingestellt werden:
  • Abpumpdruck
  • max. Abpumpzeit
  • Gas-Massenflüsse
  • Prozeßdruck
  • Stabilisierungszeit
  • HF-Leistung
  • Prozeßzeit
  • Spülzeit
  • Belüftungszeit
  • Fehlergrenzen
  • Sub-Programme
   
 
Menü zur Programmerstellung des Arbeitsprozesses

Menü zur Programmerstellung des Arbeitsprozesses
   
   
   
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