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 Ätzeffekt 
Als Ätzeffekt (chemisches und physikalisches ätzen) bezeichnet man die Tatsache, dass bei der Plasmareinigung die Oberfläche des behandelten Werkstückes abgetragen wird. Verunreinigungen und Kontaminationen an der Oberfläche werden somit entfernt. Dieses Plasmaätzen ist jedoch nur an der äußersten Randschicht (einige Atomlagen) wirksam. Bei längerer Behandlungsdauer kann auch ein größerer Teil der Randschicht sukzessive abgetragen werden. Plasmen können in vielen Fällen das nasschemische Ätzen ersetzen, Plasmaanlagen können somit als Ätzer eingesetzt werden. Bei Anwendung zusammen mit einer Ätzmaske kann die Ätzung auch zur (Mikro-) Strukturierung von Oberflächen führen.(SH)

   
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