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PLASMAANLAGEN - STEUERUNG

 

[ STEUERUNGSVARIANTEN - PC-STEUERUNG]

   
 

Zur Steuerung unserer PC- Anlagen haben wir eine Software entwickelt, die den speziellen Anforderungen der Plasmatechnik angepasst ist:

  • Einfache Bedienbarkeit
  • Visualisierung der Anlage auf dem Bildschirm
  • Regelung aller prozeßrelevanten Parameter
  • Überwachung aller prozeßrelevanten Parameter
  • Aufzeichnung aller prozeßrelevanten Parameter
  • Chargen und Bedienerdokumentation
   
 
Steuerungsvarianten - PC-Steuerung
   
  Hauptmenü der Softwaresteuerung für PC-Anlagen
   
 

Funktionen der PC-Steuerung:

  • Die Steuerung erfolgt durch PC mit seriellem Industrie-Feldbus
  • PC, Monitor und Tastatur sind im Schaltschrank eingebaut
  • Galvanische Trennung aller Ein- und Ausgänge für erhöhte Störsicherheit
  • Druckluftwächter
  • Bedienung mit Programm unter Windows

  • Zwei Modi:
    Manueller Betrieb: - Manuelles Bedienen der Maschine über Dialogbox
    Automatischer Betrieb: - Automatischer Ablauf eines zuvor erstellten Prozesses

  • Parameter:
    Abpumpdruck (bis Prozeßstart)
    Maximale Abpumpzeit (bis Fehlermeldung)
    Gas-Massenflüsse (Verhältnisse)
    Prozessdruck
    Stabilisierungszeit
    HF-Leistung
    Prozessdauer mit HF
    Spülzeit
    Belüftungszeit
    Temperatur (in die Kammer ist optional ein Thermoelement eingebaut)
    Fehlergrenzen für:
    - Massenfluß
    - Prozessdruck
    - HF-Leistung
    - Temperatur

  • Digitale Druck-Regelung über PI / PID-Regler, d.h. nicht nur Steuerung der Massenflüsse, sondern echte Druckstabilisierung
  • 100 Automatische Prozesse erstellbar
  • Auf Wunsch akustische Anzeige des Prozessendes
  • Eingabe eines Kommentares
  • Speichern der Prozeßdaten als Excel-Datei
  • Protokoll-Ausdruck über handelsüblichen Drucker
  • Folgeprozesse sind möglich
  • Netzwerkkarte
   
   
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