diener electronic : plasma ätzen : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	plasma ätzen Die Oberfläche wird im Plasma mit einem reaktiven Prozeßgas angeätzt. Material wird abgetragen, in die Gasphase umgesetzt und abgesaugt. Die Oberfläche wird vergrößert und ist sehr gut benetzbar.

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