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downstream plasma
Separat in einer Kammer ein Plasma zünden. Das aktivierte Gas strömt danach (nach unten) in eine zweite Kammer mit dem zu behandelndem Gut. Vorteil: Die harte UV-Strahlung kommt nicht mit empfindlichen Teilen in Kontakt, Nachteil: Es entsteh kein Plasma in Kunststoffhohlräumen.
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