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1. Unidad de Alimentación
- conección eléctrica
- conección del
gas de plasma y del gas de enfriamiento
- generador de alta
tensión
- bloque de medición de corriente
- bloque de control
para el gas
- placa frontal con elementos de operación
2. Alimentación de gas y de electricidad en un
tubo flexible.
3. Generador de plasma: el electrodo central, el electrodo
exterior y el aislador forman una zona de descarga.
- El generador de alta tensión transforma el
voltaje de alimentación en alta tensión
(hasta 10 kV), la cual es necesaria para formar la descarga
eléctrica.
- El voltaje de alimentacion y el gas de proceso se llevan
hasta la zona de descarga por vias flexibles.
- La corriente de aire transporta las especies activas
generadas dentro del arco del plasma (i+, e-, r*) fuera
de la zona de descarga.
- La corriente del gas activo se enfoca sobre la pieza
a tratar por la geometría especial de la boquilla.
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