| |
1. Besleme ünitesi:
- Elektrik bağlantısı
- İşlem gazı
ve soğutma gazı bağlantısı
- Yüksek gerilim alternatörü
- Elektrik ölçüm bloğu
- Gaz kumanda bloğu
- Kumanda elemanlarının
yer
aldığı ön plaka
2. Esnek boru içerisinde gaz ve elektrik gidiş hattı.
3. Plazma üreticisi: Merkez elektrot, dış elektrot ve izolatör bir deşarj bölgesi
oluşturur.
- Yüksek gerilim alternatörü şebeke
voltajını yüksek gerilime dönüştürür (10 kV’a kadar), bu
işlem elektrik deşarjının oluşturulması için gereklidir.
- Besleme gerilimi ve işlem gazı esnek hattan deşarj bölgesine
iletilir.
- Hava akımı ışık eğrisinde oluşan aktif maddecikleri
(i+, e-, r*) deşarj bölgesinden dışarı taşır.
- Aktif
gaz akımı özel bir meme biçimi sayesinde işlenecek malzemeye
odaklanır.
|
