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Wasserstoff
Zweiatomiges Gas (H2), das als Prozessgas im Plasma zum Einsatz kommt. Aufgrund der geringen Masse nur schwache Sputter-Wirkung, aber gute Wirkung beim Entfernen reduzierbarer Oberflächen-Schichten, z. B. von Oberflächen-Oxiden auf Metallen. Leichtestes der chemischen Elemente, das aus einem Proton und einem Elektron besteht. Schwerer Wasserstoff (Deuterium). und überschwerer Wasserstoff (Tritium) enthalten im Kern ein bzw. zwei zusätzliche Neutronen.
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