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 Wälzkolbenpumpe 
Wälzkolben-Pumpen (auch Rootspumpen genannt) werden in der Plasma-Technik häufig in Verbindung mit Drehschieberpumpen eingesetzt, da sie zwar keinen sehr niedrigen Enddruck, aber eine sehr hohe Förderleistung bieten. Daher kommen sie oft bei Prozessen in Anlagen mit großem Volumen oder bei stark ausgasenden Substraten zum Einsatz.

   
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