PLASMAANLAGEN

Unsere Plasmaanlagen sind mit folgenden Optionen/Zubehör lieferbar:

1. 13,56 MHz - Generator
   Um DIN EN 55011 einzuhalten, sind unsere 13,56 MHz-Generatoren quarz-stabilisiert. Die Impedanzanpassung ist fest, manuell und automatisch möglich. Hauptanwendungsgebiete sind aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (front-end), Halbleiter (back-end), Plasmapolymerisation.





2. 40 kHz - Generator
   Die Impedanzanpassung ist nur automatisch möglich, die Leistung gibt es in zwei Ausführungen. Hauptanwendungsgebiete sind aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (back-end), Plasmapolymerisation.






3. 2,45 GHz - Generator (Mikrowelle)
   Die Leistung reicht von 0-300 Watt, der Generator verfügt über eine PC Schnittstelle. Hauptanwendungsgebiete sind aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (front-end), Halbleiter (back-end), Plasmapolymerisation.



4. 2/2 Wegeventil zur Flüssigkeitsdosierung
   Ventil für die gezielte Dosierung von Monomeren.



5. Halbautomatische Steuerung
   Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/halbautomatische Steuerung.





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6. Vollautomatische Steuerung
   Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/vollautomatische Steuerung.




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7. PC-Steuerung
   Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/PC-Steuerung.




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8. PCCE-Steuerung
   Auf Basis von Windows CE mit Touchpanel. Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/PCCE-Steuerung.




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9. Aktivkohlefilter
   Der Aktivkohlefilter kann einfach gewechselt werden.
   

   

   
   
   
10. Ansaugfilter für Vakuum
    Schützt die Vakuumpumpe vor herum fliegenden Teilen, Beschichtung und vor Verschmutzung.









11. Automatische Tür
    Eine Tür, die sich bei Prozessstart automatisch schließt.





12. Barcodeleser
    Zur Verfolgung der Chargen.






13. Beheizbare Kammer
    Die Kammer kann bis ca. 80°C beheizt werden. Die Temperatur ist regelbar. Sie ist für definierte Prozessbedingungen und höhere Ätzraten.
    
    
14. Biasspannungsmessung
    Die Biasspannungsmessung ist ein Messgerät und für kHz- und MHz-Generatoren erhältlich.



15. Bubblerflasche
    Die Bubblerflasche gehört zum Polymerisationszubehör und ist zum Anschluss flüssiger Monomere an die Vakuumkammer. Anstelle der einfachen Monomerflasche wird mit einem Trägergas gearbeitet. Das Trägergas, z.B. Argon wird durch das Monomer gespült.





16. Butterfly-Ventil
    Ein Butterfly-Ventil wird zum Regeln eines Gasstroms eingesetzt, in der Vakuumtechnik v.a. innerhalb der Saugleitung einer Vakuumpumpe. Hierzu wird der Strömungswiderstand in der Leitung durch Verstellen einer Klappe, die die Leitung mehr oder weniger verschließen kann, verändert.






17. Dokumentation in Landessprache
    Die Dokumentation ist erstellt nach Maschinenrichtlinie 89/392/EWG. Dies gilt nicht für die Sprachen deutsch und englisch. Die Dokumentation ist der Anlage nicht automatisch beigefügt und muss separat dazubestellt werden.



18. Drehtrommel
    Warenträgerart zur Bestückung mit Schüttgütern.






19. Druckmessgeräte
    Pirani-Sensor oder Baratron - Anzeige des Drucks in der Vakuumkammer






20. Druckminderer
    Der Druckminderer ist zum Anschluss an die Gasflasche - 200 bar. Verschiedene Gase benötigen verschiedene Druckminderer. So gibt es einen für Edelgase H2, O2, CF4, C4F8 und einen für NH3.






21. Durchlaufanlagen
    Zur Integration einer Niederdruckplasmaanlage in eine automatische Bearbeitungslinie.



22. Ersatzteilesatz Standard oder PFPE
    Der Ersatzteilesatz beinhaltet jeweils 1 Spannring, 1 Dichtung, 1 Edelstahl-Wellenschlauch(Vakuumschlauch), 1 Fensterscheibe, 1 Türdichtung, 10 St. Feinsicherungen für die Plasmaanlage, sowie beim Standard-Satz 1 Liter Mineralöl für die Vakuumpumpe und bei dem PFPE-Satz 1 Liter PFPE-Öl für die Vakuumpumpe.






23. Etikettendrucker
    Automatischer Ausdruck von Etiketten nach der Plasmabehandlung.





24. Etikettenleser
    Zur Verfolgung der Chargen.



25. Faraday Box / Käfig
    Für elektrisch empfindliche Bauteile. Die zu behandelnden Bauteile liegen in der Faraday Box. Diese kann aus der Vakuumkammer heraus genommen werden.






26. Gasflaschenhalter
    Am Arbeitstisch, an Regalen oder Wandleisten zu befestigen. Die Spannweite betragt 70 mm. Der Spanngurt sichert ohnr Spielraum. Er ist für alle Flaschengrößen geeignet.






27. Gaswarngerät (Dräger)
    Zusätzliche Sicherheitsoption bei Verwendung von entzündlichen Gasen an Arbeitsplätzen.



28. Heizplatten
    Die zu behandelnden Teile liegen auf der Heizplatte, diese kann bis max. 150°C beheizt werden und ist für definierte Prozessbedingungen und höhere Ätzraten geeignet. Es gibt zwei Optionen:
    Ausgestattet mit Temperaturanzeigegerät wird innerhalb der Vakuumkammer ein Thermofühler angebracht, damit die Bauteiloberflächentemperatur gemessen werden kann.
    Ausgestattet mit der Temperaturanzeige integriert in die PC-Steuerung wird auch innerhalb der Vakuumkammer ein Thermofühler angebracht und so die Bauteiloberflächentemperatur gemessen werden. Die Temperatur wird hier am Bildschirm angezeigt.






29. Installation Ihrer Plasmaanlage vor Ort
    Diese Option beinhaltet die Reisezeit, die Arbeitszeit sowie die Reisekosten unseres Servicemitarbeiters.
    


30. Ionenstrommesssensor
    Zusätzliche Qualitätskontrolle des Plasmas während des Prozesses.



31. Korrosivgasausführung
    Ventile aus Edelstahl. Verrohrung aus Edelstahl. Zwingend erforderlich bei Plasmapolymerisation oder beim Einsatz korrosiver Gase wie NH3, H2O, CF4, SF6.



32. Kundenspezifische Warenträger
    Unsere Anlagen werden standardmäßig immer mit einem Warenträger ausgeliefert. Weitere oder andere Ausführungen können nach Rücksprache mit Diener electronic gefertigt werden. Zur optimalen Nutzung der Plasmaanlage.






33. Lackspray / Glasplatten-Set (LABS-frei Test)
    Zubehör zur Durchführung des Lack-Benetzungs-Störungs-Tests. Lieferumfang: Lackspray in Dosen, 5 Stück je 400 ml. Die Glasplatten 100 Stück, je 90 mm x 110 mm.






34. Langsame Belüftung der Vakuumkammer
    Die Vakuumkammer wird mittels eines Filters langsam belüftet. Es wird das Herumwirbeln von kleinen Bauteilen in der Kammer verhindert.



35. Langsames Abpumpen der Vakuumkammer
    Langsames Abpumpen der Vakuumkammer durch Bypass-Ventil. Es wird das Herumwirbeln von kleinen Bauteilen in der Kammer verhindert.



36. Längere Vakuumkammern (Femto, Pico, Nano, ...)
    Gemäß DIN 12198 wurde an unseren Anlagen (Schauglas) eine UV-Bestrahlungsstärkemessung durchgeführt. Resultat: unbedenklich. Vakuumkammern sind in Edelstahl, Borosilikatglas oder Quarzglas lieferbar. Der Kammerverschluss kann dabei zwischen Deckel und Tür mit Scharnier gewählt werden. Die Länge der Vakuumkammern ist von Ihren Anforderungen an die Plasmaanwendung abhängig. Sprechen Sie uns an.



37. Leistungsanzeige
    Anzeige der Leistung des Generators. Analoganzeige-Instrument.







38. Mehretagen-Elektrode
    Die Mehretagen-Elektrode ist für runde und/oder rechteckige Vakuumkammern lieferbar. Es können mehrere Teile auf einmal behandelt werden. Anwendungsgebiet sind Standard-Plasmaprozesse. Bitte halten Sie Rücksprache mit Diener electronic bezüglich der genauen Konstruktion Ihrer individuellen Elektrode sowie anderen Materialien für die Herstellung der Warenträger.






39. Mikrowellenlecktester
    Aufgrund der gefährlichen Strahlung, kann es nützlich sein, einen Mikrowellenlecktester bei Mikrowellenanlagen anzubringen.



40. Monomerflasche
    Polymerisationszubehör. Zum Anschluss flüssiger Monomere an die Vakuumkammer.






41. Netzwerkanbindung
    Ermöglichtes Verbinden der Anlage mit einem Computer.



42. OES - Optisches Emissionsspektrometer
    Überwachung des Plasmaprozesses zur Qualitätssicherung. Detektion des Endpunktes des Plasmaprozesses. OES nur in Verbindung mit einer PC gesteuerten Anlage.



43. Polymerisationszubehör
    Beinhaltet Verdampferflasche, eine Waage, Dosierpumpe, Heizung, evtl. Halterung



44. Prozessgas-Flasche
    Sauerstoff-Flasche zum Anschließen als Prozessgas in 2, 5 und 10 Liter, Wasserstoff-Flasche in 2 Liter, Argon-Flasche in 5 Liter. Für die Lieferung von Gasen sind spezielle Transportbedingungen zu berücksichtigen. Bei Mietanlagen muss die Flasche gekauft werden.



45. Quarzglasboot
    In zwei Abmessunge verfügbar. Für ultra hochreine Plasmaprozesse oder Waferbehandlung.






46. RIE-Elektrode
    Gibt es in rund und rechteckig aus Edelstahl, erzielt höhere Ätzraten. Anwendungsgebiet ist anisotropes und isotropes Ätzen.






47. RIE-Elektrode mit Gasdusche
    Rechteckig aus Edelstahl. erzielt höhere Ätzraten durch homogenere Gasverteilung. Anwendungsgebiet ist das anisotrope Ätzen.






48. Rolle zu Rolle System
    Z. B. zur Behandlung von Folien / Lead-frames







49. Sauerstoffgenerator
    Sauerstoff wird aus der Umgebungsluft erzeugt. Typ Kröber O2. Sauerstoffleistung: 3-6 l/min.






50. Sicherheitsventil
    Für den Betrieb mit brennbaren Gasen wie z. B. Wasserstoff, Ethin ...






51. Sonderelektroden und Warenträger
    Bitte halten Sie Rücksprache mit Diener electronic bezüglich der genauen Konstruktion Ihrer individuellen Elektrode sowie anderen Materialien für die Herstellung der Warenträger.





52. Sonderflansche / zusätzliche Flansche
    Sonderflansche werden eingesetzt, wenn mehr als die vorbereiteten Anschlüsse benötigt werden.






53. Sondervakuumkammern
    Gemäß DIN 12198 wurde an unseren Anlagen (Schauglas) eine UV-Bestrahlungsstärkemessung durchgeführt. Resultat: unbedenklich. Sondervakuumkammern gibt es in den Ausführungen rund mit Deckel, rechteckig und Tür mit Scharnier, sie sind aus Aluminium und unterscheiden sich auch durch den Öffnungsdurchmesser und die Innenabmessung. Sprechen Sie uns an.






54. Standard-Elektrode rund oder rechteckig
    Aus Edelstahl/Aluminium-Blech für Standard-Plasmaprozesse.



55. TEM Probenhalter
    Spezielle Vorrichtung zum Einführen von außen in die Plasmakammer. Jede Größe ist realisierbar. Bitte teilen Sie uns die Maße/Zeichnungen Ihrer Teile mit.






56. Temperaturanzeigegerät
    Temperaturanzeige der Kammertemperatur ohne Heizplatte. Innerhalb der Vakuumkammer wird ein Thermofühler angebracht. Es kann damit die Bauteiloberflächentemperatur gemessen werden. Die Temperaturanzeige gibt es auch integriert in die PC-Steuerung. Hier wird die Temperatur am Bildschirm angezeigt.
    






57. Testtinten-Set
    Testtinten zur einfachen Analyse der Oberflächenspannung. 28, 38, 56, 64, 72 und 105 mN/m sind in einem Satz enthalten. Andere Werte sind auf Anfrage lieferbar.






58. Thermischer Verdampfer
    Für Substanzen mit niedrigem Dampfdruck. Napf-Durchmesser: 16 mm, Napf-Volumen: 0,1 l. Abschirmung gegen Plasmaeinwirkung, Kontrolle der Temperatur (max. 500°C) und der Temperaturanstiegsgeschwindigkeit (bis zu 250°C/min). Der Anschluss erfolgt über Kleinflansch-Durchführung.



59. Timer LT4H
    Anstatt Standard-Timer zum Einstellen der Prozesszeit.






60. Vakuumkammern aus Glas (Borosilikat oder Quarz)
    Vakuumkammern aus Borosilikatglas sind für hochreine Plasmaprozesse, Vakuumkammern aus Quarzglas sind für ultra hochreine Plasmaprozesse.






61. Vakuumkammern aus Edelstahl
    Vakuumkammern aus Edelstahl sind für Standard-Plasmaprozesse.






62. Vakuumpumpstände
    Drehschieber- oder Trockenlaufpumpe mit Mineral- oder PFPE-Öl. Die Pumpen werden ölgefüllt geliefert.



63. Vorrichtung zur Behandlung von Pulver
    Pulver wird in einer rotierenden Gasflasche behandelt. Zum Befüllen kann die Flasche aus der Anlage genommen werden.






64. Wasserkühlung
    Wasser-Luft-Kühlung mit Rollen für mobilen Einsatz. Anschluss potenzialfrei durch 2 Wechsler-Kontakte für Pumpenschutzschaltung.
    






65. Wartungsangebot für Ihre Plasmaanlage
    Das Wartungsangebot von Diener electronic beinhaltet einen lückenlosen Service. Ölwechsel, Kontrolle aller Anschlüsse, Dichtungen, Stecker usw., Leckratentest, Abgleich des Drucksensors sowie eine Funktionsprüfung. Für mehr Informationen zum Thema Wartung und Service klicken Sie auf den Menüpunkt Beratung/Service.


66. Wäschesack
    Für die Vorreinigung von Kleinteilen in der Waschmaschine. Abmessungen: 500 mm x 300 mm. Mindestbestellmenge: 20 Stück.






67. Waschtrockner
    Für die Erstreinigung von Kleinteilen vor der Plasmabehandlung. Nur bei stark verschmutzten Teilen nötig. Hersteller: Miele: Typ WT 2670 WPM.



68. Wassergekühlte Warenträger-Platte
    Die wassergekühlte Platte wird am Kammerboden montiert und wird inklusive Wasserpumpe und Wasserbehälter geliefert. Sie wird eingesetzt zur Kühlung von wärmeempfindlichen Teilen.



69. Weitere Software-Funktionen
    Die Software kann jederzeit um weitere Optionen erweitert werden. Bitte teilen Sie uns Ihre Anforderungen mit.



70. Zusätzliche Gaskanäle
    Nadelventile: Unsere Anlagen können mit beliebig vielen Nadelventilen ausgestattet werden. Standard bei der Plasmaanlage vom Typ Femto sind 1-3 Stück, weitere sind auf Anfrage möglich.





71. Zusätzliche MFCs
    MFCs: Bei den Steuerungen PC und PCCE erforderlich. Unsere Anlagen können mit beliebig vielen Mass-Flow-Controllern (MFCs) ausgestattet werden.