diener electronic : TEM : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	TEM (Transmissionselektronenmikroskopie) Diese älteste Methode der Elektronenmikroskopie wird zur Strukturabbildung in Dünnschichtsystemen eingesetzt. Im Gegensatz zum Rasterelektronenmikroskop wird das Probenmaterial mit hochenergetischen Elektronen durchstrahlt. Hierzu muß die Probe auf eine geringe Dicke gedünnt werden. Der Elektronenstrahl erleidet beim Passieren der dünnschen Schicht Intensitätsverluste durch Streuung der Elektronen an den Kernen der Probenatome. Dadurch werden sie um kleine Winkel von dem geraden Strahlengang abgelenkt. Für den Bildaufbau werden nur Elektronen benutzt, die die Probe ohne Streuung durchdringen. Der Bildkontrast entsteht durch die Intensität der Streuverluste des durchgehenden Elektronenstrahls. Diese Streuverluste hängen u. a. von der Dicke, der Dichte und den kristallinen Defekten der Probe ab.

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