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 TOF-SIMS 
Abkürzung für Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, Methode der Oberflächenanalyse, bei der die Oberfläche mit einem gepulsten Ionenstrahl beschossen wird. Aus der Flugzeit der emittierten Sekundärionen lässt sich deren Masse und damit Element genau bestimmen.

   
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