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Turbomolekular-Pumpe
Die Turbomolekular-Pumpe, manchmal vereinfachend als Turbopumpe bezeichnet, ist eine Pumpe für extrem niedrige Enddrücke (bis 10-10 mbar), die aus Serien von hintereinander angeordneten Statoren und Rotoren, vergleichbar einem Düsentriebwerk, bestehen. Die Drehzahlen von Turbomolekular-Pumpen betragen einige 10000 U/min. Da das Saugvermögen von Turbopumpen mit steigendem Druck sinkt, können sie nur in Verbindung mit einer Vorpumpe, z. B. einer Drehschieberpumpe, betrieben werden. In Plasma-Anlagen kommen Turbomolekular-Pumpen immer dann zum Einsatz, wenn sehr niedrige Drücke gefordert sind, die von Pumpen anderer Bauart (Drehschieber, Roots) nicht erreicht werden.
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