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Silicium
Symbol Si, Halbmetall mit sehr hoher natürlicher Häufigkeit, auf dem die gesamte Mikroelektronik-Technologie basiert. Die Herstellung von Mikro-Schaltkreisen (ICs) erfolgt durch Beschichtungsprozesse und Ätzprozesse mittels Plasma. Geeignete Prozessgase für die Ätzprozesse sind Halogene und Halogen-haltige (insbesondere fluorhaltige) Gase.
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