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 Sputterätzer 
Anlage, die das auf dem Sputtereffekt (physikalisches Ätzen, abstäuben bzw. durch Ionenbombardement induziertes herausschlagen von Atomen aus der Festkörperoberfläche) beruhende Trockenätzen nutzt, um die Randschicht bzw. Fremdschichten sukzessive abzutragen.(SH)

   
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