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Sputtern
Bezeichnung für Plasma-Reinigung, bei der energiereiche Ionen aus dem Plasma auf eine Materialoberfläche treffen und dadurch Oberflächen-Atome abtragen. Bei reinen Sputter-Prozessen wird häufig Argon als Prozessgas verwendet. Plasma-Reinigung mittels Sputtern wird auch als Mikro-Sandstrahlen bezeichnet. Andererseits dient Sputtern in der Dünnschichttechnik als eine Methode zur Herstellung von Dampfphasen definierter Zusammensetzung, die durch Beschuss einer Probe des gewünschten Materials (des sogenannten "Targets") hergestellt werden.
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