diener electronic : REM : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	REM Rasterelektronen-Mikroskopie, das am weitesten verbreitete Verfahren zur Abbildung von Festkörpern mit hoher Auflösung und Tiefenschärfe. Die Oberfläche wird mit Elektronen bestrahlt, gemessen wird die Rückstreuung von Sekundärelektronen, deren Intensität eine direkte Abbildung der Oberfläche ergibt.

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