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Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 1100 mm, T 650 mm
Kammer:
B 305 mm, H 300 mm, T 370 mm
(optional: T 625 mm)
Kammervolumen:
ca. 34 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventil
Generator:
40kHz/0-1000 W
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ D16B (16 m³/h)
Teile-Aufnahme:
bis zu 6 Warenträger
(optional: Drehtrommel)
Steuerung:
vollautomatisch, Prozeßzeit über Timer
Optionen/Zubehör
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TETRA-30-LF mit vollautomatischer Steuerung. Konzipiert für die Produktion: Reinigung, Aktivierung, Ätzung |