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 Prinzip Plasmaprozess 
Mittels Pumpe wird die Kammer evakuiert, bei ca. 0,1 mbar Druck wird Prozessgas eingeleitet und das Plasma gezündet, so dass das Behandlungsgut in Kontakt mit dem Plasma steht. Frisches Prozessgas wird kontinuierlich zugeführt und verbrauchtes abgesaugt. Nach der Behandlung, die üblicherweise zwischen 1 und 30 Minuten dauert, wird die Kammer belüftet und das Behandlungsgut entnommen.

   
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