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FAQ - PLASMA BASSE PRESSION

 

[ REPONSES AUX QUESTIONS LES PLUS FREQUEMENT POSEES ]

   
 
  1. Dans quelle gamme de pression peut on travailler ?
  2. De quelles servitudes a besoin un système plasma (connexions…)?
  3. Que signifie gravure plasma ?
  4. Que signifie nettoyage plasma?
  5. Que signifie enlèvement plasma ?
  6. Qu’est ce que le plasma ?
  7. Qu’est ce que la gravure plasma ?
  8. Qu’est ce que l’activation plasma ?
  9. Quels gaz peuvent êtres utilisés ?
  10. Quelle vitesse de gravure peut on atteindre ?
  11. Matières qu’il est possible de traiter
  12. Est il possible de traiter de la matière en rouleau ?
  13. Dans quelle mesure une surface peut elle être changée ou améliorée ?
  14. Peut on générer des gaz toxiques ou inflammables ?
  15. Peut on générer des radiations dangereuses pour la santé ?
  16. Peut on utiliser le plasma pour des pièces composées de plusieurs matières ?
  17. Peut on réaliser un traitement partiel ?
  18. Applications possibles ?
   
   
 

[ Dans quelle gamme de pression peut on travailler ? ]

   
  La pression de travail peut varier de 0,05 à 2 mbar
   
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[ De quelles servitudes a besoin un système plasma (connexions…)?]

   
  Les petits systèmes ont besoin d’une alimentation 230 V et d’un raccordement d’évacuation pour la pompe. Les systèmes plus grands ont besoin d’une alimentation triphasée 400V, d’une alimentation en air comprimé avec une pression de 5 à 6 bar ainsi que d’un raccordement d’évacuation pour la pompe.
   
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[ Que signifie gravure plasma ? ]

   
  Les systèmes de gravure par plasma permettent d’enlever de la matière sur différents matériaux.
   
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[ Que signifie nettoyage plasma? ]

   
  Les systèmes de nettoyage par plasma permettent de nettoyer toutes sortes de pièces.
   
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[ Que signifie enlèvement plasma ? ]

   
  Les systèmes d’enlèvement par plasma permettent, entre autre, d’enlever la résine photo-sensible sur les wafers au cours des différentes phases de leur fabrication.
   
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[ Qu’est ce que le plasma? ]

   
  Le plasma est un gaz ionisé. Les atomes de gaz sont séparés en ions et en électrons. Pour ce faire il est nécessaire de fournir de l’énergie.Cette énergie est fournie par des champs électriques.Il est possible d’utiliser des sources d’énergies continues ou alternatives pour amorcer le plasma. Les plasmas obtenus à des pressions inférieures à 10 mbar sont connus sous le nom de plasma basse pression.
   
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[ Qu’est ce que la gravure plasma ? ]

   
  Avec des temps de process plus longs ( supérieurs à 5 minutes) il est possible d’enlever de la matière de la surface. La surface de contact ainsi structurée est augmentée permettant une meilleure tenue des colles et des peintures.Cette application est limitée aux pièces plastiques, aux élastomères, aux semiconducteurs et à quelques métaux.
   
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[ Qu’est ce que l’activation plasma ? ]

   
  L’activation plasma consistent en la formation de radicaux libres sur la surface traitée. L’effet obtenu est une meilleure tenue des colles et des peintures .
   
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[ Quels gaz peuvent êtres utilisés ? ]

   
  - Oxygène
- Hydrogène
- Argon
- Azote
- Gaz fluorés
- De nombreux autres mélanges
   
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[ Quelle vitesse de gravure peut on atteindre ? ]

   
  La vitesse de gravure dépend de la matière, de la puissance, du temps et du gaz utilisé. Cette vitesse varie de 10 à 100 µ par heure.
   
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[ Matières qu’il est possible de traiter: ]

   
  Normalement il n’y a aucune restriction, il est néanmoins impératif que la matière à traiter ne dégaze pas ou peu.
   
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[ Est il possible de traiter de la matière en rouleau ? ]

   
  En général c’est possible, mais pour cette application l’équipement est plus complexe car pendant le traitement il est nécessaire de dérouler et de ré-enrouler la matière.
   
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[ Dans quelle mesure une surface peut elle être changée ou améliorée ? ]

   
  L’effet principal est une modification de la tension de surface conduisant généralement à une meilleure mouillabilité (voir aussi la question 9).
   
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[ Peut on générer des gaz toxiques ou inflammables ? ]

   
  Du fait d’un fonctionnement en basse pression la consommation de gaz est très faible. Les émissions de gaz pendant le traitement passent par le système de pompage qui est rincé ceci empêchant la formation de gaz inflammables.
   
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[ Peut on générer des radiations dangereuses pour la santé ? ]

   
  Les radiations générés à l’intérieur du plasma sont confinées dans le système et ne peuvent en aucun cas rayonner à l’extérieur. Il n’y a aucun danger.
   
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[ Peut on utiliser le plasma pour des pièces composées de plusieurs matières ? ]

   
  Des pièces composées de plusieurs matières peuvent être traitées ( voir aussi la question 7).
   
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[ Peut on réaliser un traitement partiel ? ]

   
  Il est possible de protéger une partie de la pièce avec un masque adapté et ne traiter que la partie non masquée. Par exemple pour le traitement des pièces plastiques soudées il est nécessaire de protéger le joint de soudure pendant le traitement.
   
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[ Applications possibles: ]

   
  Il existent de nombreuses possibilités d’application pour le plasma. Les applications principales sont : le nettoyage , l’activation, le gravure et le revêtement des surfaces.
   
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