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Plasmaätzen
Ein Trockenätzverfahren, bei dem reaktive Atome oder Ionen (z.B. Sauerstoff, Chlor, Fluor) in einer (meistens mit Hochfrequenz betriebenen) Gasentladung erzeugt werden. Beim Ätzen mit Ionen macht man sich zunutze, daß diese im Randbereich gerichtet zwischen Plasma und Substrat beschleunigt werden und tiefe Gräben mit steilen Wänden erzeugen können.
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