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SYSTEMES PLASMA STANDARDS

 

[ NANO UHP]

   
  Le NANO UHP est un système plasma semi automatique d’une capacité de 18 litres utilisé pour :
  • La production de moyenne série
  • Semiconducteur
  • médical
  • électronique
  • recherche et développement
  • élastomère
  • plastique

La chambre du système PICO UHP n’est pas faite d’acier inox mais de quartz ou de borosilicate ce qui permet d’utiliser ce système quand des contaminations métalliques ne peuvent être tolérées.

   
   
 
 

Données techniques:

Dimensions du système :
L 580 mm, H 650 mm, P 500 mm
Dimensions de la chambre :
Ø 240 mm, P 400 mm
Volume de la chambre :
18 litres
Matière de la chambre : Quartz ou borosilicate,
arrière de la chambre aluminium
Alimentation en gaz :
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 300 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold Trivac D8B (8 m3/h)
Support de pièce :
1 plateau
Contrôle semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Options / accessoires

 
NANO UHP semi automatique : Nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.

NANO UHP semi automatique : Nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.
   
   
  Les prix mentionnés ci dessus sont donnés sans obligation.
Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.
   
   
   
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