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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN
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[ NANO UHP]
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Die Kleinanlage
NANO UHP mit ihren 18 Litern Kammervolumen und halbautomatischer
Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
- Kleinserienfertigung
- Analytik (REM, TEM)
- Elektrotechnik
- Medizintechnik
- Kunststofftechnik
- Elastomertechnik
- Forschung und Entwicklung
UHP steht für Ultra High Purity. Diese Bezeichnung gilt für die Glasrezipienten unserer Plasmaanlagen, diese können je nach Kundenwunsch aus Borosilikatglas oder Quartzglas sein. Die Option UHP ist nur für folgende Anlagen erhältlich: Femto, Pico und Nano.
Eingesetzt werden Glaskammern in Mikrowellenanlagen und/oder bei Anwendungen, bei denen eine ultrareine Oberfläche erforderlich ist. Normale Edelstahl- oder Aluminiumkammern können, wie alle Metalle in einer Plasmaanlage, also auch das Behandlungsgut, in geringsten Mengen sputtern. Für die meisten Prozesse ist das nicht von Bedeutung und absolut vernachlässigbar. Die Aluminiumbauteile aus der UHP-Anlage sind mit AL2O3 beschichtet. Da die Anlage keinen Edelstahl - Rezipienten besitzt, ist sie für
Anwendungen geeignet, bei denen Spuren von Chrom, Nickel und
Eisen störend sind.
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Technische Daten:
Schaltschrank:
B 580 mm, H 650 mm, T 600 mm
Kammer:
Ø 240 mm, L 400 mm
(Optional: L 600 mm)
Kammeröffnung Ø: 230 mm
Werkstoffe: Quarz oder Borosilikatglas Vorder- u. Rückwand
der Kammer: Aluminium
Kammervolumen:
ca. 18 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventil
Generator:
40kHz/300W, stufenlos
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ D8B (8 m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
halbautomatisch, Prozeßzeit über Timer
Optionen / Zubehör
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Kleinanlage NANO UHP mit halbautomatischer Steuerung: Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, Beschichtung
PREIS: auf Anfrage |
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Kleinanlage NANO UHP mit Scharniertür und vollautomatischer Steuerung:
Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, Beschichtung
PREIS: auf Anfrage |
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Kleinanlage NANO UHP mit vollautomatischer Steuerung:
Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, Beschichtung
PREIS: auf Anfrage |
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Kleinanlage NANO RF UHP mit Scharniertür, vollautomatischer Steuerung, manueller Matching, Temperaturanzeige und integrierter Pumpe: Für Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, Beschichtung
PREIS: auf Anfrage |
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Kleinanlage NANO UHP PCCE mit
PCCE Steuerung:
Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, Beschichtung
PREIS: auf Anfrage |
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Bitte setzen Sie sich wegen
technischer Beratung für diese Anlage mit uns in Verbindung.
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