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Plasmapolymerisation
Beschichtungsverfahren, bei dem organische Moleküle im Plasma polymerisieren und sich auf einem Substrat niederschlagen. Da die Plasmapolymerisation durch Aufbrechen von Bindungen in den Monomer-Molekülen ausgelöst wird, sind mittels Plasma auch gesättigte Verbindungen polymerisierbar. Plasmapolymere weisen i. Allg. eine weniger regelmäßige Molekülstruktur und einen höheren Quervernetzungsgrad auf als analoge in flüssiger Phase hergestellte Polymere. Zahlreiche Anwendungen, z. B. im Bereich Barriere-Schichten, Hydrophile Schichten, hydrophobe Schichten, etc.
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