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diener electronic : Plasmadiffusion : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam
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 Plasmadiffusion 
Überbegriff für Prozesse, bei denen eine Metalloberfläche bei erhöhter Temperatur durch Eindiffundieren von Nichtmetall-Atomen mittels Plasma veredelt wird. Die wichtigsten Beispiele sind Plasma-Nitrieren, Plasma-Nitrocarburieren, Plasma-Carburieren und Plasma-Carbonitrieren. Die sich an der Oberfläche bildenden Nitrid- bzw. Carbid-Pasen sind wenige µm dick und viel härter als das unbehandelte Metall, auch die darunter liegende Diffusions-Schicht, die mitunter einige 100 µm dick sein kann, ist härter als der Grundwerkstoff.

   
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