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diener electronic : Plasmachemie : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam
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 Plasmachemie 
Die Plasmachemie macht sich zunutze, daß chemische Reaktionen in der Gasphase oder an Oberflächen durch Atome, die in einer Gasentladung angeregt werden, bei niedrigen Prozeßtemperaturen ablaufen können.

   
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