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diener electronic : Nano : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam
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SYSTEMES PLASMA STANDARDS

 

[ NANO ]

   
  Le NANO est un système plasma semi automatique d’une capacité de 24 litres utilisé pour :
  • La production de moyenne série
  • Semiconducteur
  • médical
  • électronique
  • recherche et développement
  • électronique
  • mécanique de précision
  • élastomère
  • plastique
  Documentation: (PDF 1073 KB)
   
   
 
 

Dimensions du système :
L 580 mm, H 650 mm, P 500 mm
Dimensions de la chambre :
Ø 267 mm, P 420 mm
Volume de la chambre :
24 litres
Alimentation en gaz :
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 300 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold Trivac D8B (8 m3/h)
Support de pièce :
1 plateau
Contrôle semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Options / accessoires

 
NANO: Nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.

NANO: Nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.




NANO AUTOMATIQUE: Nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.

NANO AUTOMATIQUE: Nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.
   
   
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