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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN
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[ NANO ]
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Die Kleinanlage
NANO mit ihren 24 Litern Kammervolumen und halbautomatischer
Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
- Halbleitertechnik
- Feinwerktechnik
- Elektrotechnik
- Medizintechnik
- Kunststofftechnik
- Elastomertechnik
- Forschung und Entwicklung
- Kunststofftechnik
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Prospekt
NANO (PDF 1068 KB) |
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Technische Daten:
Schaltschrank:
B 580 mm, H 650 mm, T 600 mm
Kammer:
Ø 267 mm, L 420 mm
Kammervolumen:
ca. 24 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventil
Generator:
40kHz/300W, stufenlos
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ D8B (8 m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
halbautomatisch, Prozeßzeit über Timer
Optionen / Zubehör
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Kleinanlage NANO mit halbautomatischer Steuerung:
Reinigung, Aktivierung, Ätzung, Beschichtung
PREIS: auf Anfrage
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Kleinanlage NANO mit vollautomatischer Steuerung:
Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, BeschichtungPREIS: auf Anfrage |
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Kleinanlage NANO mit Scharniertür und vollautomatischer Steuerung:
Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, BeschichtungPREIS: auf Anfrage |
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| Kleinanlage NANO RF mit Scharniertür, vollautomatischer Steuerung, manueller Matching, Temperaturanzeige und integrierter Pumpe: Für Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, Beschichtung PREIS: auf Anfrage |
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| Kleinanlage NANO RF PC mit Scharniertür, PC Steuerung, automatischer Matching, Temperaturanzeige und integrierter Pumpe mit eckiger Kammer: Für Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, Beschichtung
PREIS: auf Anfrage |
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Die genannten Preise sind unverbindlich
Bitte setzen Sie sich wegen
technischer Beratung für diese Anlage mit uns in Verbindung. |
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