diener electronic : Photon : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	Photon Quantum elektromagnetischer Strahlung. Bedeutsam sind für die Ionisationsprozesse Photonen des sichtbaren Lichtes (650nm - 400nm), Ultraviolettstrahlung (400nm - 100nm) und Röntgenstrahlung (<100nm).

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