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SYSTEMES PLASMA STANDARDS

 

[ PICO UHP ]

   
  Le PICO UHP est un système plasma semi automatique de laboratoire d’une capacité de 4 litres utilisé pour :
  • production de petites séries
  • l’analyse (SEM, TEM)
  • médical
  • stérilisation
  • recherche et développement
  • semiconducteur
  • plastique
La chambre du système PICO UHP n’est pas faite d’acier inox mais de quartz ou de borosilicate ce qui permet d’utiliser ce système quand des contaminations métalliques ne peuvent être tolérées.
   
   
 
 

Données techniques:

Dimensions du système :
L 550 mm, H 330 mm, P 500 mm
Dimensions de la chambre :
Ø 130 mm, P 300 mm
Matière de la chambre : quartz ou borosilicate,
arrière de la chambre aluminium
Volume de la chambre :
4 litres
Alimentation en gaz :
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 200 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold Trivac D2.5B (2.5 m3/h)
Support de pièce :
1 plateau
Contrôle semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Options / accessoires

 
PICO: Développement de procédé, nettoyage, activation, gravure (optique, technologie laser, …)

PICO: Développement de procédé, nettoyage, activation, gravure (optique, technologie laser, …)

 Plasma in PICO UHP

Plasma in PICO UHP.

 
   
   
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