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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN

 

[ PLASMA SYSTEM FEMTO ]

   
  Die Zwei-Liter-Laboranlage FEMTO mit halbautomatischer Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
  • Kleinserienfertigung
  • Analytik (REM, TEM)
  • Medizintechnik
  • Sterilisieren
  • Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
  • Archäologie
  • Textiltechnik
  • Halbleitertechnik
  • Kunststofftechnik
  Prospekt FEMTO (PDF 1007 KB)
 

Alle Plasmasysteme können in den verschiedensten Variationen kombiniert werden. Die folgende Übersicht soll zu einem Überblick über die gängigsten Anlagen verhelfen.
   
 

Technische Daten:
Plasma cleaner Femto
mit digital Timer

Schaltschrank:
B 345 mm, H 220 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 270 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
1 Gaskanal über Nadelventil
Generator:
40kHz/100W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:

1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer
Timer:
Timer LT4H

Optionen / Zubehör



 
Plasmaanlage FEMTO für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Kleinanlage FEMTO mit Timer (Version 1) : Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung, Ätzung in Kleinserie

PREIS: auf Anfrage

Technische Daten:
Plasma cleaner Femto PCCE

Schaltschrank:
B 562 mm, H 211 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 280 mm
Kammervolumen:
ca. 2,8 Liter
Gaszuführung:
2 St. Gaskanäle über MFC
Generator:
40kHz/100W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:

1 St. Warenträger
Steuerung:
PC-Steuerung

Optionen / Zubehör



 
Plasmaanlage FEMTO PCCE für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Kleinanlage FEMTO PCCE (Version 2) :
Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung,
Ätzung in Kleinserie mit innovativem Touchscreen

PREIS: auf Anfrage

Veraltete LCD-Anzeige, Innovativer Touchscreen
Veraltete LCD-Anzeige Innovativer Touchscreen


Technische Daten:
Plasma cleaner Femto

Schaltschrank:
B 345 mm, H 220 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 270 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
1 Gaskanal über Nadelventil
Generator:
13,56 MHz/50W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:

1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer

Optionen / Zubehör



 
Plasmaanlage FEMTO für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Kleinanlage FEMTO (Version 3) : Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung, Ätzung in Kleinserie

PREIS: auf Anfrage


Technische Daten:
Plasma cleaner Femto
(mit Scharniertür)

Schaltschrank:
B 560 mm, H 310 mm, T 600 mm
Kammer:
B 100 mm H 100 mm L 280 mm
Kammervolumen:
ca. 2,8 Liter
Gaszuführung:
1 Gaskanal über Nadelventil
Generator:
40kHz/100W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:

1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer

Optionen / Zubehör



 
Plasmaanlage FEMTO (mit Scharniertür) für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Kleinanlage FEMTO (Version 4) : Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie

PREIS: auf Anfrage
   
 

Technische Daten:
Plasma cleaner Femto



Schaltschrank:
B 562 mm, H 211 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 270 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventile
Generator:
40 kHz/100W, stufenlos regelbar
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer
Druckmessgerät:
Pirani

 

Optionen / Zubehör

Plasmaanlage FEMTO LF für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Kleinanlage FEMTO (Version 5) : Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie

PREIS: auf Anfrage
 


 

Technische Daten:
Femto-PC



Schaltschrank:
B 500 mm, H 460 mm, T 550 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 270 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über je einen MFC
Generator:
40 kHz/0-100 W
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
PC-Steuerung unter Windows
(siehe unsere Seiten über PC-Steuerung)

 

Optionen / Zubehör

Plasmaanlage FEMTO PC für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme
Kleinanlage FEMTO-PC (Version 6) : Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie

PREIS: auf Anfrage
   
   

Technische Daten:
Plasma cleaner Femto



Schaltschrank:
B 320 mm, H 500 mm, T 420 mm
Kammer:
B 100 mm H 100 L 280 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventile
Generator:
40 kHz/100W, stufenlos regelbar
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer
oder Automatisch
Druckmessgerät:
Pirani

 

Optionen / Zubehör

Plasmaanlage FEMTO vertikal PC für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme
Kleinanlage FEMTO (Version 7) : Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie

PREIS: auf Anfrage

Die genannten Preise sind unverbindlich
Bitte setzen Sie sich wegen technischer Beratung für diese Anlagen mit uns in Verbindung.

 

   
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