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Un gas (por ej. Hexametildisiloxan (HMDSO), Hexametildisilazan
(HMDSN), Tetraetilglicol-éter, C2F6, etc.) se introduce a
la cámara de plasma. Por Plasmapolimerización
se depositan capas en la superficie.
Aplicaciones:
- Deposición de capas hidrófobas
- Deposición de capas hidrófilas
- Uso como barrera de difusión
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