| |
Bir gaz [ örn. heksametildisiloksan (HMDSN), heksametildisilazan (HMDSN), tetraetilenglikol-dimetil
eter, C2F6 ...] plazma hücresine iletilir. Plazma polimerizasyonu sayesinde yüzeyden katmanlar ayrılır.
Kullanımlar:
- Hidrofob katmanların ayrılması
- Hidrofobil
katmanların ayrılması
- Örn. difüzyon blokajının kullanılması
|
