diener electronic : Niederdruckplasmaanlage : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	Niederdruckplasmaanlage Eine Anlage in der ein Niederdruckplasma generiert wird. Die Anordnung und Größen der Rezipienten und Ausführungen der Elektroden können sehr verschieden sein. Es existieren Anlagen von 2l bis mehrere Tausend Liter Kammervolumen.

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