diener electronic  |  Plasma-Surface-Technology Plasma Plasma systems Surface-Technology
german english spanish usa turkish italian french
russian polish czech chinese japonese taiwanese  
 
 
 Mittlere freie Weglänge 
Durchschnittlicher Weg, den ein Gasmolekül bei gegebener Temperatur und Druck zwischen zwei Kollisionen mit anderern Gasmolekülen zurücklegt. Bedeutend für das Zustandekommen eines Plasmas: Bei zu hohem Druck (zu geringer freie Weglänge) können die Elektronen und Ionen nicht die für Ionisationsstöße benötigte Geschwindigkeit aufbauen, bei zu geringem Druck (zu großer freier Weglänge) kommt es nicht zu ausreichend vielen Ionisationsstößen, um das Plasma aufrecht zu erhalten. Die mittlere freie Weglänge hat außerdem starken Einfluss auf die Isotropie von Ätzprozessen: je höher der Druck, desto geringer die freie Weglänge, desto isotroper (ungerichteter) der Materialabtrag.

   
  Home | Plasmatechnik | Lexikon | FAQ | Plasmaanlagen | Dienstleistungen | Links/Vertretungen | Referenzen | Messen | Kontakt | Anfahrt | Stellenangebote | Wir über uns | Infocenter / Presse
  © 2008 Diener electronic GmbH + Co. KG