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Mikrowellentechnik
Mikrowellen (Frequenz 2,45 GHz) werden zur Anregung von Niederdruck-Plasmen eingesetzt. Die Vorteile liegen im günstigen Preis und der hohen Effizienz bei Ätzprozessen und Plasma-Polymerisationen. Dem stehen die Nachteile des hohen Verdrahtungsaufwands, der Verwendung hoher Spannungen, der Beschränkung auf Glas-Rezipienten und der schlechten Homogenität gegenüber.
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