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 Hidrógeno 
Gas de 2 átomos (H2) que se usa como gas plasmágeno en los procesos de plasma. Por su baja masa solo tiene acciones de mordentado reducidas, pero tiene buena efectividad para quitar capas superficiales como por ej. óxidos superficiales sobre metales. Es el elemento químico más "liviano" del sistema el cual se compone de un protón y un electrón. Los isótopos Deuterium y Tritium contienen en su núcleo uno o respectivamente dos neutrones adicionales.

   
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