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Bomba Turbomolecular
La bomba turbomolecular, a veces simplificada como turbo-bomba, es una bomba para presiones finales extremadamente bajas (hasta 10-10 mbar), que consiste en una serie consecutiva de estatores y rotores, comparable con una turbina de avión. Las revoluciones de bombas turbomoleculares son de varios 10.000 1/min. Como la capacidad de succión de las turbo-bombas se reduce con el incremento de la presión, solo pueden trabajar en conjunto con una bomba antepuesta, por ej. una bomba rotativa de paletas variables. En sistemas de plasma las turbo-bombas se usan siempre y cuando se requieren presiones muy bajas, las cuales no son posibles de generar con otro tipo de bombas de vacío (rotativa de paletas variables, Roots, etc.).
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