Ana sayfa
Plazma tekniği
Sözlük
SSS
Plazma sistemleri
Temsilcilerimiz
Fuarlar
Bize ulaşın
Ulaşım
Hakkımızda
Turbo moleküler pompa
Turbo moleküler pompa, kısaca turbo pompa olarak da adlandırılır, birbiri ardına yerleştirilmiş statör ve rotor serilerinden oluşan (meme tahrik mekanizmasına benzer), son derece düşük son basınçlara (10-10 mbar'a kadar) yönelik bir pompadır. Turbo moleküler pompaların devir sayısı birkaç 10000 D/dak'tır. Turbo pompaların emme kapasitesi artan basınçla düştüğünden, sadece bir ön pompa, örn. döner sürgü pompası, ile birlikte kullanılabilir. Plazma tertibatlarında başka pompalar (döner sürgü, Roots) ile sağlanamayacak kadar düşük basınçlar isteniyorsa turbo moleküler pompalar kullanılır.
Ana sayfa
|
Plazma tekniği
|
Sözlük
|
SSS
|
Plazma sistemleri
|
Temsilcilerimiz
|
Fuarlar
|
Bize ulaşın
|
Ulaşım
|
Hakkımızda
© 2008 Diener electronic GmbH + Co. KG
