Ana sayfa
Plazma tekniği
Sözlük
SSS
Plazma sistemleri
Temsilcilerimiz
Fuarlar
Bize ulaşın
Ulaşım
Hakkımızda
Tetraflormetan
Plazma işlemlerinde, özellikle de aşındırma işlemlerinde sıklıkla kullanılan bir işlem gazıdır. Tetraflormetan (CF4, Freon 14 olarak da tanımlanır) normal şartlarda tamamen soy-gazdır, fakat plazma içerisinde serbest flor atomları ve CF2 ile CF3-radikalleri oluşturur. Bunlar son derece şiddetli bir aşındırma etkisine sahiptir, örn. silisyum dioksit üzerinde. CF4 ve O2 karışımları, saf oksijenden yakl. 5 x daha hızlı aşındırır.
Ana sayfa
|
Plazma tekniği
|
Sözlük
|
SSS
|
Plazma sistemleri
|
Temsilcilerimiz
|
Fuarlar
|
Bize ulaşın
|
Ulaşım
|
Hakkımızda
© 2008 Diener electronic GmbH + Co. KG
